一种氦质谱检漏仪

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摘要

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪，涉及检测设备技术领域，其包括工作台，所述工作台上设有质谱室，所述质谱室上设有盖体，所述质谱室内设有喷吹扰动组件，所述喷吹扰动组件包括设于所述工作台上的空气压缩机，所述质谱室内设有与所述空气压缩机采用管道连接的喷吹组件，所述质谱室一侧设有泄压单元。当质谱室内完成检测后，根据氦气的含量和检测次数，可开启喷吹扰动组件，将空气压缩机内的压缩空气导入质谱室，通过喷吹组件进行喷吹，将残余气体导入泄压单元，快速将质谱室内残余气体导出，避免氦气积聚后影响检测结果。

基本信息

专利标题：

一种氦质谱检漏仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021158619.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-19

授权号：

CN212779789U

授权日：

2021-03-23

发明人：

于润泽

申请人：

北京旭普科技有限公司

申请人地址：

北京市海淀区上地国际科技创业园2-1703

代理机构：

北京维正专利代理有限公司

代理人：

孙铭侦

优先权：

CN202021158619.2

主分类号：

G01M3/20

IPC分类号：

G01M3/20