测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置

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摘要

本实用新型属于微波和光学领域，为解决极低温下纳米谐振器振动模式难以测量的问题，公开了一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，纳米谐振器安装在PCB电路板上，固定在低温恒温器内的五轴位移器上，并通过柔性波导和同轴线与激励电源和频率测试装置通信。激励电源产生激励信号使纳米谐振器发生振动。激光器产生的激光经调节，入射到低温恒温器中。移动五轴位移器，使激光照射到纳米谐振器的不同部位均匀分布的若干个点上。通过各点反射光强度的变化，得到该点处纳米谐振器薄膜与衬底的距离，绘制出纳米谐振器的振动模式。

基本信息

专利标题：

测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021175988.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-23

授权号：

CN212963949U

授权日：

2021-04-13

发明人：

徐凡颀卢恒延英莫泽陈风楠

申请人：

苏州大学

申请人地址：

江苏省苏州市相城区济学路8号

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

王利斌

优先权：

CN202021175988.2

主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G01M11/02 G01H9/00 H01P3/08