本实用新型用于极低温测量的芯片检测装置包括载物台、显微镜和显示模块，所述显微镜位于载物台上方，所述显微镜与显示模块连接，所述载物台包括台座、设在台座上的收容腔体、载物台本体和若干探针模组，所述收容腔体与台座一体设置，所述载物台本体装设在所述收容腔体内，所述收容腔体上端盖设有透明盖体，所述若干探针模组与所述收容腔体连通，所述探针模组包括可伸缩的导套、装设在导套上的调节装置及装设在所述调节装置上的探针，所述探针可抵顶载物台本体表面；本实用新型通过在载物台本体上开设有中空部和通孔，并通过中空部和通孔将液氮输出，在降低载物台本体的同时将芯片上表面温度降低导极温状态，提高了检测精度。