晶圆位错自动检测仪
授权
摘要
本实用新型公开了晶圆位错自动检测仪，包括包括上机架和下机架，上机架与下机架固定相连，其特征在于，还包括晶圆运动平台和检测组件；晶圆运动平台包括X轴运动板、Y轴运动板和安装板，Y轴运动板安装在下机架的顶部，X轴运动板安装在Y轴运动板的顶部，安装板固接在X轴运动板的顶部；检测组件包括相互固定连接的相机、镜头和同轴光源，相机通过安装架固定连接在下机架的顶部；本实用新型采用高精度晶圆运动平台，移动速度快，移动位移偏差少，通过晶圆运动平台实现晶圆运行路线的规划，多点摄像采集的过程中保持了相机的相对稳定，提高了摄像的精确度，有助于提高检测精度。
基本信息
专利标题 ：
晶圆位错自动检测仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021183667.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
CN212646510U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
陈悦安叶光进何华曾胜
申请人 ：
珠海市奥德维科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市前山沥溪工业园福田路10号博杰电子1栋1楼珠海市奥德维科技有限公司
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021183667.7
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/13
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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