一种全自动晶圆探针台
授权
摘要
本实用新型涉及探针检测设备领域,尤其涉及一种全自动晶圆探针台,包括布设有电气控制系统的机柜;机柜内部安装有电脑主机和测试主机;机柜顶部设置有人机交互装置、晶圆输送装置、CCD扫描装置、探针装置、打点装置、承片台、上料框、下料框和用于承放故障晶圆的待处理框,探针装置与测试主机电性连接;测试主机和人机交互装置分别与电脑主机电性连接;CCD扫描装置、晶圆输送装置和打点装置分别通过电气控制系统与电脑主机电性连接。本技术方案设置了设置了晶圆输送装置,实现晶圆的自动上下料,最大限度的减少人工辅助,使一个工作人员可同时操作多台设备,提高作业效率的同时,降低人工成本。
基本信息
专利标题 :
一种全自动晶圆探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021220243.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-29
授权号 :
CN212622723U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
邓鹏
申请人 :
乐山嘉洋科技发展有限公司
申请人地址 :
四川省乐山市高新区建业大道2号
代理机构 :
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 :
邓小兵
优先权 :
CN202021220243.3
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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