一种晶圆的晶粒自动筛选机
授权
摘要
本实用新型涉及晶粒检测技术领域,尤其涉及一种晶圆的晶粒自动筛选机,包括布设有电气控制系统的机柜;所述机柜内部安装有电脑主机和测试主机;所述机柜顶部设置有人机交互装置、晶圆输送装置、CCD扫描装置、承片台、上料框、下料框、废料盒和用于吸附故障晶粒的晶料吸嘴机构;所述测试主机和人机交互装置分别与电脑主机电性连接;所述CCD扫描装置、晶圆输送装置和晶料吸嘴机构分别通过电气控制系统与电脑主机电性连接。本技术方案采用机械设备对晶圆中的故障晶粒进行自动筛选,打破传统人工筛选的弊端,实现了排故障晶粒工作的自动化,确保筛选效率和筛选质量,降低了人工成本的投入。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆的晶粒自动筛选机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021220247.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-29
授权号 :
CN213103306U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
邓鹏
申请人 :
乐山嘉洋科技发展有限公司
申请人地址 :
四川省乐山市高新区建业大道2号
代理机构 :
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 :
邓小兵
优先权 :
CN202021220247.1
主分类号 :
B07C5/344
IPC分类号 :
B07C5/344 B07C5/02 B07C5/36
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
B07C5/344
根据电或电磁性质
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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