全自动晶圆分选机旋转取料结构
实质审查的生效
摘要
本发明的技术目的是提供一种通过摆臂及吸附结构，定位精确的全自动晶圆分选机旋转取料结构。包括有旋转电机，所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座，在所述摆臂机座上设有摆臂，在所述摆臂的上端设有吸嘴，所述吸嘴连通吸放气缸。本发明将将摆臂基座及摆臂旋转到准确的工位，通过吸嘴将细小的晶片吸附，可实现精确的取晶片的工序。可微调摆臂的延伸距离，精确而又稳定。适用于晶圆分选机中应用。
基本信息
专利标题 ：
全自动晶圆分选机旋转取料结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114308739A
申请号 ：
CN202111608231.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邓朝旭
申请人 ：
深圳市朝阳光科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华新区大浪街道高峰社区乌石岗工业区第十栋厂房
代理机构 ：
深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司
代理人 ：
吴雅丽
优先权 ：
CN202111608231.7
主分类号 ：
B07C5/36
IPC分类号 ：
B07C5/36
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选
B07C5/36
以其分配方式为特征的分选装置
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B07C 5/36
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
