单晶粒探针台及其专用筛盘装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体加工工艺领域，尤其涉及单晶粒探针台及其专用筛盘装置，包括机柜，机柜内部安装有电脑主机和测试主机；机柜顶部设置有人机交互装置、物镜扫描装置、探针装置和打点装置、筛盘装置，探针装置与测试主机电性连接；测试主机和人机交互装置分别与电脑主机电性连接；物镜扫描装置和打点装置分别通过电气控制系统与电脑主机电性连接。筛盘装置包括筛盘本体和筛盘底座，筛盘本体上设置有若干整齐排列的晶粒槽；筛盘本体设置于筛盘底座上。筛盘本体上设置晶粒槽为晶粒提供排列条件，可使晶粒在筛盘本体上排列方式参照晶粒在晶圆上的排列方式，如此便可实现多个晶粒的快速检测，极大限度的减少了人工辅助，同时提高了检测效率。
基本信息
专利标题 ：
单晶粒探针台及其专用筛盘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021220289.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN213149158U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
邓鹏
申请人 ：
乐山嘉洋科技发展有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市高新区建业大道2号
代理机构 ：
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓小兵
优先权 ：
CN202021220289.5
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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