本实用新型公开了一种精密三轴位移装置，包括三个结构相同的轴机构和设置在轴机构上的传动系统，传动系统的输入端通过平键连接有伺服电机的输出轴，传动系统的输出端通过联轴器连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的外部设有外壳，滚珠丝杠的滑动块上端和下端通过螺栓分别连接有滑块和导轨滑块。解决了现有三轴位移平台，定位精度低，且步进电机开环控制带来的一系列问题；通过闭环控制的伺服电机以及高精度的滚珠丝杠机构，实现了精密三轴位移装置的高精度控制及定位，并可适配多种自动化设备进行精准的实施动作；提高了三轴位移平台的使用范围及使用精度，给高精度自动化设备设施的设计和实施提供极大便利。