晶圆切割制品清洗装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种晶圆切割制品清洗装置,包括清洗仓以及设置在清洗仓内的工作台与清洗喷头,清洗仓上还设有排气口,工作台的台面一侧以及与工作台的台面相背的一侧均设有清洗喷头,清洗喷头的喷洒方向朝向工作台。本实用新型技术方案通过在工作台的上下两侧各设置一个清洗喷头,以对工作台上的晶圆切割制品的两侧同时进行清洗,同时通过调节清洗喷头的出风压力,以清洗不同顽固程度的颗粒,将清洗下来的颗粒通过排气口排出以集中收集,从而避免了颗粒的飞扬和二次污染,提高清洗质量以及清洗效率以满足光学玻璃表面的洁净度要求。

基本信息
专利标题 :
晶圆切割制品清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021235924.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-29
授权号 :
CN212703411U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
张玉良赵东峰李莹郭培亮韩兴君
申请人 :
歌尔股份有限公司
申请人地址 :
山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
代理机构 :
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 :
关向兰
优先权 :
CN202021235924.7
主分类号 :
B08B5/02
IPC分类号 :
B08B5/02  B08B13/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁,如吹清凹处
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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