一种干膜光阻冷却系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种干膜光阻冷却系统，包括冷却室、传送机构、风机和冷却装置。冷却室沿预设水平方向相对的两端分别设有进料口和出料口，冷却室的上端设有吹风单元，冷却室的底端设有排风单元，吹风单元靠近进料口设置，排风单元靠近出料口处设置。传送机构输入端设于进料口处，传送机构输出端沿预设水平方向向冷却室的内部延伸至出料口处。风机设于冷却室外部，风机的进风口与排风单元连通。冷却装置设于冷却室外部，冷却装置的一端与风机的出风口连通，另一端与吹风单元连通。本实用新型干膜光阻冷却系统能够有效降低干膜光阻的膜面温度，避免干膜光阻由于蓄热而产生的显影不洁等质量问题，提高干膜光阻的加工收率。

基本信息

专利标题：

一种干膜光阻冷却系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021252240.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-01

授权号：

CN212949625U

授权日：

2021-04-13

发明人：

黄文军蔡政斌张辉祁丹

申请人：

长兴电子（苏州）有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路2号

代理机构：

苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

周子轶

优先权：

CN202021252240.8

主分类号：

B32B37/08

IPC分类号：

B32B37/08