一种具有防护功能的金属化薄膜镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有防护功能的金属化薄膜镀膜装置,包括真空箱,所述真空箱上端左部固定安装有控制面板,所述真空箱前端中部活动连接有箱门,所述真空箱左端下部固定连接有真空泵,所述真空箱内下箱壁右部和下箱壁左部均固定连接有导轨,两个所述导轨上共同滑动连接有底板,所述底板上方设有传膜装置,所述传膜装置下部和右部均固定连接有降温箱,所述传膜装置右上部固定连接有横板,所述横板上端和底板上端右部均固定连接有蒸发源,所述真空箱下端四角均固定连接有防滑支柱。本实用新型所述的一种具有防护功能的金属化薄膜镀膜装置,通过在蒸发舟上设置两个可以开闭的活动盖,在镀膜工作完成后,将两个活动盖闭合,防止镀膜厚度不均匀。
基本信息
专利标题 :
一种具有防护功能的金属化薄膜镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021277410.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-03
授权号 :
CN212894944U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
胡章启
申请人 :
安徽威斯康电子材料有限公司
申请人地址 :
安徽省铜陵市狮子山高新技术开发区
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021277410.8
主分类号 :
C23C14/26
IPC分类号 :
C23C14/26 C23C14/14 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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