一种等离子清洗机双向推头
授权
摘要
本实用新型涉及一种等离子清洗机双向推头，属于半导体加工技术领域；其包括与机台滑动连接的安装座、与安装座滑动连接的连接块、设置在连接块上的双头推板、设置在连接块与安装座之间的弹性装置以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置，所述连接块滑动方向与推料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的推料豁口；本实用新型提供了一种等离子清洗机双向推头能够方便操作人员时时获知推料状态，料板卡死后能够及时获知，避免损坏料板和设备，保证更方便、安全。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子清洗机双向推头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021330688.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-10
授权号 ：
CN213079387U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
郭峰刘向东彭小巧王宇国际瑞
申请人 ：
昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202021330688.7
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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