一种旋转阴极的连接及密封装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，且公开了一种旋转阴极的连接及密封装置，包括底座，所述底座内部的左右两侧壁之间活动连接有旋转阴极。该旋转阴极的连接及密封装置，通过支撑板使得旋转阴极在转动时能够将震动传递给支撑杆，这个过程中稳定弹簧受力压缩进行缓冲，且震动通过支撑杆传递给固定架、活动杆以及转动块，这个过程中连接弹簧压缩，进一步缓冲，且转动块受到震动的作用以固定轴为圆心转动，从而将震动的动能进行释放，通过转动蜗杆使得螺纹丝杆在蜗轮的带动下转动，此时左右两个移动块在螺纹丝杆的作用下向着相反的方向或相对的方向移动，从而使得该装置能够对旋转阴极不同的位置起到支撑作用。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转阴极的连接及密封装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021339026.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-09
授权号 ：
CN212741509U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
张成良韩荣
申请人 ：
成都致清环保科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区天晖中街56号1幢21层2126号、2127号
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
丁国勇
优先权 ：
CN202021339026.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 F16F15/067
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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