一种MEMS陀螺仪及电子产品
授权
摘要

本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品,MEMS陀螺仪包括基底、第一环形件、第二环形件、连接组件、固定件、第二辐条及电极组件,通过电极组件驱动第一环形件及第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动,并检测第一环形件及第二环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移,利用环形陀螺仪几何结构高度对称的特征,提高陀螺仪的灵敏度,同时具有更大的刚度,更高的模态频率,提高抗振动特性。

基本信息
专利标题 :
一种MEMS陀螺仪及电子产品
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021346446.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-09
授权号 :
CN213120570U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
占瞻马昭杨珊李杨谭秋喻洪燕黎家健张睿
申请人 :
瑞声科技(南京)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
代理机构 :
深圳紫辰知识产权代理有限公司
代理人 :
万鹏
优先权 :
CN202021346446.7
主分类号 :
G01C19/56
IPC分类号 :
G01C19/56  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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