一种MEMS陀螺仪及电子产品
授权
摘要

本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品,MEMS陀螺仪包括基底;固定件,与基底固定连接;环形件,套设于固定件外侧并与固定件连接,且悬置于基底上,环形件在径向上的截面呈波浪形且在基底上的投影呈圆环形;电极组件,与基底固定连接,用于与环形件形成电容,以驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动,并检测环形件沿与第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移,一方面利用圆环形陀螺仪几何结构高度对称的特征,提高陀螺仪的灵敏度,另一方面波浪形环形件,降低变形难度,提高陀螺仪的品质因数,且相比于现有技术中的半球形陀螺仪,具有更高的空间利用率,在轴向上波浪形的环形件具有更小的刻蚀深度,降低了工艺难度。

基本信息
专利标题 :
一种MEMS陀螺仪及电子产品
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021346504.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-09
授权号 :
CN213090781U
授权日 :
2021-04-30
发明人 :
马昭占瞻杨珊李杨谭秋喻洪燕黎家健张睿
申请人 :
瑞声科技(南京)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
代理机构 :
深圳紫辰知识产权代理有限公司
代理人 :
万鹏
优先权 :
CN202021346504.6
主分类号 :
G01C19/5684
IPC分类号 :
G01C19/5684  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/567
利用振动节点或波腹的相位移动
G01C19/5677
本质上的二维振动器,如环形振动器
G01C19/5684
包含微机械结构的设备
法律状态
2021-04-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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