介电性能测试装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种介电性能测试装置。该介电性能测试装置包括：谐振腔，包括相对设置的凹面镜和平面镜，凹面镜的凹面朝向平面镜，平面镜具有靠近凹面镜一侧的承载面，用于放置薄膜样品；环体，设置于平面镜靠近凹面镜的一侧，环体具有靠近平面镜一侧的平面，用于将薄膜样品撑平；输入波导，贯穿谐振腔设置；输出波导，固定于平面镜上，且输出波导与输入波导对应设置；网络分析仪，分别与输入波导和输出波导连接。上述谐振腔适用于薄膜样品的测试，厚度能够达到微米级，采用上述谐振腔能够得到较高的品质因数，测试精度较高；薄膜样品环体可以将薄膜样品完全撑平，不需要薄膜制成具有一定厚度及强度的样品，操作方法简单。

基本信息

专利标题：

介电性能测试装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021352954.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-10

授权号：

CN213780215U

授权日：

2021-07-23

发明人：

宋锡滨孙莹莹奚洪亮艾辽东

申请人：

山东国瓷功能材料股份有限公司

申请人地址：

山东省东营市经济技术开发区辽河路24号

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

王晓玲

优先权：

CN202021352954.6

主分类号：

G01R27/26

IPC分类号：

G01R27/26