一种等离子清洗机推送料装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工技术领域；其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构；本实用新型提供了一种等离子清洗机推送料装置，能够提高设备的空间利用效率，提升推送料的行程，提高推送效率。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子清洗机推送料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021356824.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-10
授权号 ：
CN212760130U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
郭峰刘向东彭小巧王宇国际瑞
申请人 ：
昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202021356824.X
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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