一种简易维护排风变频器的光刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种简易维护排风变频器的光刻机,其结构包括框架、护壳、显示屏、键盘、LP单元、机体组件、电源盒、控制组件、排风组件、工控组件和装卸机构,本实用新型具有以下有益效果,为解决光刻机使用时较难对护壳进行简易的装卸,影响排风变频器维护便利和增加劳动施力的问题,通过在框架上设置了装卸机构,再通过旋出贴板上的螺栓后,再拉动卡持机构,使底板、承接板和贴板在撑架上进行翻转打开,使框架内部展现出,达到便捷有效的对护壳进行装卸,提高排风变频器维护便利和减少劳动施力的效果。
基本信息
专利标题 :
一种简易维护排风变频器的光刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021368738.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-13
授权号 :
CN212112128U
授权日 :
2020-12-08
发明人 :
李俊毅姚恒裕林雅芳
申请人 :
福建安芯半导体科技有限公司
申请人地址 :
福建省泉州市南安市石井镇院前村2号
代理机构 :
泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
易敏
优先权 :
CN202021368738.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-12-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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