本实用新型公开了一种简易维护排风变频器的光刻机，其结构包括框架、护壳、显示屏、键盘、LP单元、机体组件、电源盒、控制组件、排风组件、工控组件和装卸机构，本实用新型具有以下有益效果，为解决光刻机使用时较难对护壳进行简易的装卸，影响排风变频器维护便利和增加劳动施力的问题，通过在框架上设置了装卸机构，再通过旋出贴板上的螺栓后，再拉动卡持机构，使底板、承接板和贴板在撑架上进行翻转打开，使框架内部展现出，达到便捷有效的对护壳进行装卸，提高排风变频器维护便利和减少劳动施力的效果。