本实用新型公开了一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门，所述光刻机本体正表面的两侧均固定连接有固定结构。本实用新型通过固定结构起到了对柜门的固定和释放，进行使用六角扳手操作固定结构，将柜门进行释放，即可将柜门开启，该便于维护的光刻机具备方便启闭的优点，在使用过程中能够使用结构小巧，精密的部件进行传动，进而对柜门进行限位，能够有效的取代螺栓的作用，同时不与发生锈蚀，使用寿命长，提高了光刻机的实用性，解决了现有的光刻机在使用过程中，大多没有设置专门的维护窗口，不利于工作人员进行维护的问题。