一种真空测量系统及装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空测量系统及装置，属于真空测量技术领域，系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；真空度感知单元包括基准电压模块、至少两个并联的闭合回路；基准电压模块为闭合回路提供基准电压，每个闭合回路上设有若干电阻；控制单元通过获取任意两个闭合回路中电阻上的压降数据进而实现真空度的测量。本实用新型通过基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元替代传统的测量丝状结构，能够有效避免现有真空计在使用过程中出现的断丝问题延长了使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空测量系统及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021418019.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN212180172U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
李波吴海斌
申请人 ：
成都兰石低温科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区空港四路2666号
代理机构 ：
成都华风专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张巨箭
优先权 ：
CN202021418019.5
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
