一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置

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摘要

本实用新型涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成，导热管为圆环形管路，位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置，围绕并靠近坩埚，不与加热体接触，吸热管、散热管与导热管连通且位置对称，通过小炉盖延伸至炉体外部，并与蒸发机连接。导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。本实用新型结构简单，便于安装、拆卸、维修，同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量，进而改变晶体生长形态，有效抑制晶体缩肩，提高晶体出材。

基本信息

专利标题：

一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021451290.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-22

授权号：

CN212505156U

授权日：

2021-02-09

发明人：

左洪波杨鑫宏李铁吴岩

申请人：

哈尔滨秋硕半导体科技有限公司

申请人地址：

黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021451290.9

主分类号：

C30B29/20

IPC分类号：

C30B29/20 C30B17/00