一种以金属薄带为基底的新型原子层热电堆热流传感器
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摘要
本发明公开了一种以金属薄带为基底的新型原子层热电堆热流传感器，包括：封装套，其内部固定套设有金属基体，金属基体表面固定设置有以金属薄带为薄膜基底的敏感元件，金属基体两侧设置有导线槽，导线槽中固定设置有银导线；敏感元件的结构包括：金属薄带，其上方沉积有过渡膜层；热电效应薄膜，其沉积在过渡膜层上方；导电膜，其沉积在热电效应薄膜两端；金属基体两侧设置有过渡斜面。本发明利用金属良好的导热特性以及较高热容量，使得传感器在长时间使用中能及时将热传导出去，保证传感器温度在受控范围内；利用金属薄带较好的柔韧性，使得导电膜与银导线的电导通结点布置在金属基体侧面，减少由于侵入式传感器对局部流场的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种以金属薄带为基底的新型原子层热电堆热流传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021470895.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212161859U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
杨凯朱涛陶伯万朱新新王辉杨远剑
申请人 ：
中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;电子科技大学
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区二环路南段6号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN202021470895.2
主分类号 ：
H01L35/32
IPC分类号 ：
H01L35/32 H01L35/08 G01J5/12 G01K7/00 G01M9/04 G01M9/06
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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