一种新型原子层热电堆热流传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型原子层热电堆热流传感器，包括：基座，其表面设置有电绝缘氧化层，且基座上端面开设有安装凹槽，基座内开设有引线槽；方形敏感元件，其固定在安装凹槽中；封装套，其紧密套设在基座外部；方形敏感元件的结构包括：方形钛酸锶晶片；热电效应薄膜，其设置在方形钛酸锶晶片上；两个导电金膜，其设置在方形钛酸锶晶片上，且导电金膜与热电效应薄膜两端为电连接；银导线，其固定在引线槽内；锥形导线孔，其开设在基座中，银导线穿过锥形导线孔，并与导电金膜电连接。本实用新型避免了将方形晶片加工成圆形晶片以及在加工后的圆形晶片上开小通孔的加工难度，减少了传感器制备的工序和难度，降低了传感器制备费用。
基本信息
专利标题 ：
一种新型原子层热电堆热流传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020839104.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN211717656U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
杨凯朱涛王雄朱新新王辉杨庆涛
申请人 ：
中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区二环路南段6号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN202020839104.2
主分类号 ：
G01K7/02
IPC分类号 ：
G01K7/02 G01M9/06 H01L35/10 H01L35/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件，例如热电偶
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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