一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器
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摘要
本实用新型公开了一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，包括：基座，其表面设置有电绝缘氧化层，基座侧面开设有导线槽，基座上端面开设有引线孔Ⅱ；敏感元件，其粘接固定在基座的上端面；封装套，其套设在基座外部；银导线，其固定设置在导线槽内；敏感元件的结构包括：钛酸锶晶片，其上开设有引线孔Ⅰ，钛酸锶晶片表面沉积有至少两个钇钡铜氧化物薄膜；钇钡铜氧化物薄膜之间通过导电金膜首尾串联连接；两个引线金膜，其一端与钇钡铜氧化物薄膜相接，另一端覆盖引线孔Ⅰ周围区域；银导线穿过引线孔Ⅱ和引线孔Ⅰ，并与引线金膜电导通。本新型原子层热电堆热流传感器能够在相同尺寸下物理上放大传感器输出，可用于风洞测热试验。
基本信息
专利标题 ：
一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021470899.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212461722U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
杨凯朱涛陶伯万朱新新王辉杨庆涛杨远剑
申请人 ：
中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;电子科技大学
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区二环路南段6号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN202021470899.0
主分类号 ：
H01L35/32
IPC分类号 ：
H01L35/32 H01L35/08 G01J5/12 G01K7/00 G01M9/04 G01M9/06
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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