一种可拆分式新型钽坩埚
授权
摘要

本实用新型涉及一种可拆分式新型钽坩埚,属于晶体制备技术领域。解决的是坩埚在多次高温后出现裂缝的问题。包括坩埚盖、坩埚底和多个坩埚侧壁拼接片,坩埚侧壁拼接片的上下两端分别与坩埚盖和坩埚底可拆卸连接,坩埚侧壁拼接片依次连接形成一个圆筒,石墨纸为圆柱形,石墨纸包裹在坩埚侧壁拼接片拼接而成的圆筒外侧。本装置在重复高温时易出现裂缝,提高使用寿命,坩埚盖、坩埚底面和坩埚侧壁均可拆卸拼接,在其中一个零件发生损坏时,只需更换损坏的零件就可以继续使用,节约成本。

基本信息
专利标题 :
一种可拆分式新型钽坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021502671.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-27
授权号 :
CN212669853U
授权日 :
2021-03-09
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区哈西大街与学府四道街交汇处第40栋-1-2层12号
代理机构 :
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹徐婷
优先权 :
CN202021502671.5
主分类号 :
C30B23/00
IPC分类号 :
C30B23/00  C30B29/40  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
法律状态
2021-03-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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