坩埚盖板

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摘要

一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。本实用新型中的坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。

基本信息

专利标题：

坩埚盖板

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922057032.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-25

授权号：

CN211079405U

授权日：

2020-07-24

发明人：

谭水根龙昭钦周建国宋丽平冷金标雷鸣周勤仁

申请人：

晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司

申请人地址：

江西省上饶市经济开发区晶科大道1号

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

彭琰

优先权：

CN201922057032.6

主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B28/06 C30B29/06