本实用新型提供了一种真空吸盘装置及机器人，真空吸盘装置包括：连接支架、设于连接支架上的多组吸盘组件，所述吸盘组件包括：依次连接的支杆、止回阀和吸盘；所述支杆内形成有真空通道，所述支杆设有与所述真空通道连通的第一接口和第二接口，所述支杆设于所述连接支架上，所述第二接口位于所述支杆的背离所述连接支架的一端；所述止回阀与所述第二接口连接。本实用新型每根支杆和吸盘之间设有止回阀，当工件平整度不够，某个吸盘没有吸到工件或吸取不平衡时，对应的止回阀能够立即自动切断，防止大量空气进入真空气路导致吸力不够，使得本真空吸盘装置对于平整度不够的工件、对于中间存在孔洞的板件，都能实现稳固抓取。