一种晶圆加工用自动卸料研磨装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨装置,包括传送带主体,所述传送带主体的上方中部设置有研磨主体,所述传送带主体的外表面等距离的安装有橡胶工位,所述传送带主体的中部下方安装有安装座,所述安装座的内部转动安装有驱动轴,所述驱动轴靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆与反向蜗杆,所述正向蜗杆与反向蜗杆的侧面均啮合有蜗轮,所述蜗轮的中部固定有凸轮轴,所述凸轮轴的上端穿过安装座的上表面,且凸轮轴的上端固定有凸轮,述伸缩杆靠近传送带主体中心的一端固定有弧形压板,本实用新型的两个弧形压板能够将晶圆挤压住,在挤压过程中两个弧形压板的运动具有同时性,所以可保证晶圆的位置不会有偏差。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆加工用自动卸料研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021578564.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-03
授权号 :
CN213258871U
授权日 :
2021-05-25
发明人 :
宁富生
申请人 :
坂口电子机械(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区书院镇丽正路1628号4幢1-2层
代理机构 :
上海海贝律师事务所
代理人 :
范海燕
优先权 :
CN202021578564.0
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10  B24B37/30  B24B37/34  B24B47/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2021-05-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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