一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机,包括底座,所述底座上端两侧通过支杆固定连接有横杆,所述横杆上端中部贯穿连接有伺服缸,且伺服缸底端通过第二伺服电机活动连接有连接杆,所述连接杆底端中部通过总螺管螺纹连接有螺杆,且螺杆底端固定连接有研磨盘,所述底座顶部中段固定连接有工作箱,所述工作箱一侧下部通过第一伺服电机转动连接有轴杆,所述轴杆前端通过偏心块分别转动连接有第一研磨板和第二研磨板。本实用新型通过设置总螺管、第一分螺管、第二分螺管、第三分螺管、伸缩杆、第一固定夹、第二固定夹和偏心块结构,具有提高研磨效率,实现自动下料和节约成本的优点。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921762461.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN211163462U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
陆孙华
申请人 :
苏州英尔捷微电子股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
代理机构 :
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 :
吴东勤
优先权 :
CN201921762461.7
主分类号 :
B24B37/34
IPC分类号 :
B24B37/34 B24B27/00 B24B37/30
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/34
附件
法律状态
2021-10-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B24B 37/34
申请日 : 20191021
授权公告日 : 20200804
终止日期 : 20201021
申请日 : 20191021
授权公告日 : 20200804
终止日期 : 20201021
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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