一种分体式防着板及真空溅镀设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种分体式防着板，包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接，通过设置包括防着层和增强层的防着单元来增强防着板的力学、热学性能等，并延长防着板的使用寿命，降低使用成本；通过在增强层设置凸部和凹部，将相邻的防着单元连接成为一个可拆卸的整体，能够在防着板的局部防着效果不合格时，进行有针对性的局部更换，从而降低使用成本。
基本信息
专利标题 ：
一种分体式防着板及真空溅镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021666449.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-11
授权号 ：
CN212770926U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
王正云刘贺威
申请人 ：
苏州众智泽智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山开发区中小企业园风琴路108号7号厂房1楼
代理机构 ：
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡林
优先权 ：
CN202021666449.9
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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