防着板固定装置以及真空镀膜设备
授权
摘要
本申请公开了防着板固定装置以及真空镀膜设备，防着板具有朝向靶材的防着面和背向靶材的背面，其中防着板固定装置包括：固定孔，开设在防着板上且贯穿防着面和背面；固定支架，设有供气口，供气口在背面延伸至固定孔附近；供气旋钮，自防着面向背面贯穿固定孔且与供气口连接，供气旋钮与供气口夹持防着板；供气旋钮包括探入固定孔内的连接部和抵压在防着板上的抵压部,连接部与供气口连接，供气旋钮内设有供气道，供气道将供气口内的气体引导至防着面附近；抵压部朝向靶材的一侧为无孔洞的平整面，抵压部的外周面为用于驱动供气旋钮旋转的规则的多边形。
基本信息
专利标题 ：
防着板固定装置以及真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921926391.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-08
授权号 ：
CN211689219U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
江嘉来华杭周海龙俞峰
申请人 ：
浙江上方电子装备有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号
代理机构 ：
杭州合信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄平英
优先权 ：
CN201921926391.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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