溅镀机的防着板结构

专利权的终止

摘要

一种溅镀机的防着板结构，该溅镀机包含有一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及数置物板，其中，溅镀过程中，原子会往被镀物方向沉积，因此也有可能沉积至防着板结构，所以溅镀操作一段时间之后，相关的结构均须拆卸清除沉积物，本实用新型的防着板结构一体成型有导轨结构，据此，无论在拆、装防着板结构后，就不用再拆、装导轨结构，可以减少组、拆次数，节省人力，防着板结构的强度也相应较强。

基本信息

专利标题：

溅镀机的防着板结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720141077.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-03-26

授权号：

CN201031252Y

授权日：

2008-03-05

发明人：

赖翠仙

申请人：

建铯科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台中县

代理机构：

北京天平专利商标代理有限公司

代理人：

孙刚

优先权：

CN200720141077.6

主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/34

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/34

溅射

法律状态

2014-05-21 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582287431
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410776
申请日 : 20070326
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 20130326

2011-08-24 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101178289866
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410776
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 建铯科技股份有限公司
变更后权利人 : 黄能杰
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾台中县
变更后权利人 : 104 中国台湾台北市中山区正义里6邻林森北路85巷88号
登记生效日 : 20110715

2008-03-05 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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