一种蒸镀机的背板结构及蒸镀机
授权
摘要
本实用新型提供一种蒸镀机的背板结构及蒸镀机,该蒸镀机的背板结构用于与需要蒸镀的基板贴合,蒸镀机的背板结构包括:上层背板;下层背板,该下层背板与基板贴合;至少一个调节单元,该调节单元设置于上层背板与下层背板之间并固定连接于上层背板上,用于调节下层背板与基板的贴合度,提高下层背板与基板的贴合精度。本实用新型提供的蒸镀机的背板结构及蒸镀机,通过设置蒸镀机的背板结构包括上层背板和下层背板,并在所述上层背板和下层背板之间设置调节单元,用于调节所述下层背板与所述基板的贴合度,提高下层背板与基板的贴合精度,可以保证蒸镀机的背板、玻璃基板和精细掩模板三者紧密贴合,防止由于三者无法紧密贴合造成的Mura及混色不良问题。
基本信息
专利标题 :
一种蒸镀机的背板结构及蒸镀机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922230568.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211546651U
授权日 :
2020-09-22
发明人 :
徐光华
申请人 :
昆山国显光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
代理机构 :
北京华进京联知识产权代理有限公司
代理人 :
吴娜娜
优先权 :
CN201922230568.3
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24 C23C14/04
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-09-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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