一种超声波悬浮输送机构
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摘要
本申请公开了一种超声波悬浮输送机构，用于输送太阳能电池硅片，包括基座，在所述基座上安装有超声波悬浮组件和硅片输送组件，其中，所述超声波悬浮组件包括超声波发生装置和悬浮板，所述超声波发生装置发出超声波，以在所述悬浮板上方预定高度处产生预定悬浮支持力，使硅片悬浮在所述预定高度处；所述硅片输送组件包括传送带，用于输送悬浮在所述预定高度处的硅片。该超声波悬浮输送机构，实现了太阳能电池硅片的无接触式输送，可有效避免硅片出现裂开、破损、划伤及污染等问题，提高硅片质量，减少资源浪费，该超声波悬浮输送机构可适用于各种加工工序之间硅片的流转，可用于传送各种不同规格的硅片，适用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种超声波悬浮输送机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021693124.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN212750833U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
夏永飞戴秋喜潘加永刘光照
申请人 ：
苏州映真智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园35号标准厂房一楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021693124.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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