一种晶圆柔性存料载具
授权
摘要
本实用新型提供一种具有弹性缓冲的晶圆柔性存料载具，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘的插入方向的两侧壁设置与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上、下侧壁设置弹性缓冲件。晶圆存料盒受力或者发生晃动的时候，晶圆托盘与水平托料槽之间不会突然碰撞、彼此损伤。有效的提高了晶圆托盘和水平托料槽的寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆柔性存料载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021701247.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-16
授权号 ：
CN212570948U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
巩铁建陶为银
申请人 ：
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
代理机构 ：
郑州中原专利事务所有限公司
代理人 ：
张春
优先权 ：
CN202021701247.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
