一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座，所述底座上设置有气缸二，气缸二上方设置有旋转支柱，旋转支柱上方安装有气缸一，气缸一左侧安装有移动托盘，且气缸一左侧通过弹簧一连接有橡胶条，所述底座上安装有料仓底座，料仓底座上设置有料仓框架，且料仓框架内设置有滑槽，滑槽内设置有滑块，所述底座上设置有凹槽，凹槽上安装有气缸三，气缸三上连接有提升托盘，提升托盘上设置有弹簧二，提升托盘上方安装有存放托盘，所述存放托盘上设置有梯形凸起块和梯形凹槽，存放托盘上放置有晶圆，所述底座右侧通过定滑轮连接有固定支架，底座上方设置有弧形凸起，且固定支架下方设置有弧形凹槽。

基本信息

专利标题：

一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021901157.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-03

授权号：

CN213860085U

授权日：

2021-08-03

发明人：

巩铁建陶为银

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

范小方

优先权：

CN202021901157.9

主分类号：

B28D7/04

IPC分类号：

B28D7/04 B28D7/00 H01L21/677