一种平面碲化铋基薄膜热电模块及热电发电机

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摘要

本实用新型公开了一种平面碲化铋基薄膜热电模块及热电发电机，热电模块包括热沉基板、二氧化硅膜层、多条第一金属带、多条第二金属带、碲化铋基薄膜、光刻胶和导热绝缘层，所述二氧化硅膜层设置在所述热沉基板的上表面，所述第一金属带和所述第二金属带交错地间隔排列在所述二氧化硅膜层的上表面；相邻的第一金属带和第二金属带通过沉积在二氧化硅膜层上的碲化铋基薄膜相连并导通，所述碲化铋基薄膜包括P型碲化铋基薄膜和N型碲化铋基薄膜，所述第一金属带和所述第二金属带的两侧均分布有不同类型的碲化铋基薄膜。本实用新型提供了利用MEMS微加工技术和薄膜沉积技术实现了平面碲化铋基薄膜热电发电机的可扩展性。

基本信息

专利标题：

一种平面碲化铋基薄膜热电模块及热电发电机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021733443.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-19

授权号：

CN212542474U

授权日：

2021-02-12

发明人：

刘宏程新利刘伟祎章于道

申请人：

苏州科技大学;苏州窄带半导体科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市虎丘区滨河路298号

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

吴芳

优先权：

CN202021733443.9

主分类号：

H01L35/16

IPC分类号：

H01L35/16 H01L35/34 H02N11/00