parylene镀膜用多角度翻转治具
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摘要
本实用新型公开了parylene镀膜用多角度翻转治具，包括翻转治具主体，所述翻转治具主体的内端底部设有推动装置，所述推动装置的上端位置滑动连接有转动装置，所述转动装置包括转动套轴、套接杆、限位环架、导杆、紧固环、弹性杆、弹簧接触架、接触端架和连接杆，所述转动套轴设在转动装置的内端一侧，所述转动套轴的侧端与套接杆相套接设置，所述套接杆的侧端与导杆相固定连接，所述导杆的顶端位置与限位环架相套接设置，所述导杆的侧端与连接杆相固定连接，所述连接杆的顶端与弹簧接触架相弹性连接，所述紧固环设在连接杆的前端位置处。本实用新型为parylene镀膜用多角度翻转治具，通过推动装置和转动装置设置，实现内端翻转调节的目的。
基本信息
专利标题 ：
parylene镀膜用多角度翻转治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021741791.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN212864964U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
浦招前
申请人 ：
苏州派华纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021741791.0
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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