一种进气管及扩散炉
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池生产加工领域，具体地，涉及一种用于太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管及扩散炉。本实用新型要解决的技术问题是炉口进气管易导致低压扩散，分流进入硅片的上/下部，使得沉积较多、方阻较低的下部方阻更低，均匀性差。本申请通过设置在密封端的出气口，以及进气管本体上设补气孔，补气孔至少为1对，沿进气管本体径向方向设置，并在进气管本体同一径向横截面上，提高了扩散的片子的磷源均匀性，使得扩散方阻和方差得以改善，对电池片的效能也有提高，更有助于扩散的片子形成良好的PN结，以便提升太阳能电池片的电性能。
基本信息
专利标题 ：
一种进气管及扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021771446.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN212800603U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
朱波王林彭彪顾峰陈敬伟胡艳玲
申请人 ：
通威太阳能（合肥）有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区长宁大道888号
代理机构 ：
安徽知问律师事务所
代理人 ：
代群群
优先权 ：
CN202021771446.1
主分类号 ：
C30B31/16
IPC分类号 ：
C30B31/16 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置；气流的变换
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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