一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置
授权
摘要
本申请涉及一种涉及单晶炉的领域，尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置，设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接，包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构，所述的支撑架与主炉室机架相连，支撑架上设置有主轴，所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接，所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接，所述的连接机构的一端与升降机构相连接，其另一端与旋转机构相连接，连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性，保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021775091.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-22
授权号 ：
CN212476946U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
王维
申请人 ：
北京北方华创真空技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
侯巍巍
优先权 ：
CN202021775091.3
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
