手动撕膜机
授权
摘要
本实用新型公开了手动撕膜机,涉及半导体制造辅助设备技术领域,解决了现有的作业方法手撕膜会使铜片变形、损伤,容易折弯基板,产生芯片内部缺陷的问题。包括安装板,所述安装板上设有若干托板组,每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板,活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上,安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件;活动托板与固定托板上皆连接有若干吸嘴,所述吸嘴连接于真空发生器,真空发生器供气口连接有气源、控制气源与真空发生器之间气路通断的手动开关。达到了保证基板平整度,操作简单,结构简单,运行稳定、成本低廉,杜绝撕膜过程中造成的基板和芯片损伤,兼容不同尺寸的铜片,通用性高的效果。
基本信息
专利标题 :
手动撕膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021775240.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-21
授权号 :
CN213007028U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
朱冬成
申请人 :
南通斯康泰智能装备有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市崇川区紫琅路30号狼山工业园2号楼3楼
代理机构 :
南京钟山专利代理有限公司
代理人 :
刘林峰
优先权 :
CN202021775240.6
主分类号 :
B32B43/00
IPC分类号 :
B32B43/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B32
层状产品
B32B
层状产品,即由扁平的或非扁平的薄层,例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品
B32B43/00
不包含在其他类目中的、专门适合用于层状产品的操作,如用于修理;所用的装置
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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