一种半导体检测用光学显微镜
授权
摘要
本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体检测用光学显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021805256.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
CN212845088U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
陈霞
申请人 ：
陈霞
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区西丽南路116号一街2栋602房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021805256.7
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/01 G02B21/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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