半导体检测用光学显微镜
授权
摘要
本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜,包括底座,在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台,工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔,光源腔内设置有检测光源,光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置,固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块,固定座可拆卸固定在工作台上,连杆可相对固定座上下翻转,连杆一端与手柄连接,另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架,定位架上固定有光学显微镜,光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机,光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单,可对半导体进行快速定位,方便半导体检测。
基本信息
专利标题 :
半导体检测用光学显微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921620114.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-26
授权号 :
CN210982194U
授权日 :
2020-07-10
发明人 :
赵靖
申请人 :
张家港梓阳电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港保税区新兴产业育成中心A栋116室张家港梓阳电子科技有限公司
代理机构 :
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
许云峰
优先权 :
CN201921620114.0
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01 G01N21/95
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-07-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210982194U.PDF
PDF下载