一种用于半导体设备的光学检测装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，本实用新型所达到的有益效果是：利用可调节的方管支腿配合万向脚轮，既方便了光学检测仪的移动，也提高了光学检测仪的稳定性，且移动操作十分简单，同时显著提升了检测台的防尘性能，提高了检测结果的准确度。

基本信息

专利标题：

一种用于半导体设备的光学检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922350036.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN211741035U

授权日：

2020-10-23

发明人：

王迪杏蒋伟王宁张阳秦文兵王金裕苗全盛路阳王伟顾育琪

申请人：

无锡迪渊特科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城1-805

代理机构：

连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

谷金颖

优先权：

CN201922350036.3

主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/01 G01N21/15