一种高清半导体晶圆检测测量显微镜
授权
摘要
本实用新型公开一种高清半导体晶圆检测测量显微镜，包括：底座、依次设置在底座上的下层工作台、与下层工作台滑动连接的中层工作台、与中层工作台滑动连接的上层工作台，用于驱动中层工作台沿着Y轴运动的Y轴驱动组件、用于驱动上层工作台沿着X轴运动的X轴驱动组件、设置在底座端部的Z轴驱动组件、设置在Z轴驱动组件输出端且与上工作平台正对的五档变倍显微镜、以及设置在底座底部的可调地脚。本实用新型使用机械代替人工检测，省时省力，通过调节X轴、Y轴、Z轴进行调节，能对不同尺寸产品进行检查，能大尺寸测量，保证产品多样形。
基本信息
专利标题 ：
一种高清半导体晶圆检测测量显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122923116.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216285954U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
黄双平
申请人 ：
深圳市华显光学仪器有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖村宝能科技园9栋8层A座CD单位
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
何路
优先权 ：
CN202122923116.0
主分类号 ：
G02B21/24
IPC分类号 ：
G02B21/24 G02B21/26 G01N21/84
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/24
底座结构
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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