一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置，所属硅片洗净设备技术领域，包括底板，所述的底板上端中部设有导向板，所述的导向板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的导向板固定块，所述的底板两侧边、导向板两侧端均设有侧板，所述的侧板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的侧板固定块，所述的底板前端设有位于两侧板固定块之间的装片口，所述的两侧板间均设有呈对称式分布的背板，所述的背板左右两侧均设有与底板相螺栓紧固的背板固定块。具有结构简单、维修稳定性好、操作简单和使用效果好的特点。解决了硅片装盒过程脱离正确位置的问题。避免频繁发生设备故障及产品不良的现象。
基本信息
专利标题 ：
一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021808137.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
CN213378190U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
徐扶建
申请人 ：
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
代理机构 ：
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈相权
优先权 ：
CN202021808137.7
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/68
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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