硅片BMD辅助定位装置及硅片BMD的测量方法
实质审查的生效
摘要
一种硅片BMD辅助定位装置及硅片BMD的测量方法，包括固定夹具、定位板，所述固定夹具包括夹紧组件、架体，所述夹紧组件一端与所述架体的一侧滑动连接，所述夹紧组件的另一端与所述架体的另一侧接触，所述架体能够沿所述定位板滑动，本发明通过硅片BMD辅助定位装置，将硅片的解理面对准定位板，然后通过夹紧组件将硅片夹紧，将架体翻转180°，再将定位板移开，以将硅片的解理面对准显微镜，使得显微镜在计数时，因为硅片始终保持水平，在显微镜观察BMD数目时，显微镜只需进行一次调整，便可使显微镜观察的区域均清晰，进而针对同一深度时，BMD计数时更加准确。
基本信息
专利标题 ：
硅片BMD辅助定位装置及硅片BMD的测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280631A
申请号 ：
CN202111601669.2
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
倪浩然谢国荣冉泽平祁海滨王忠保
申请人 ：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号
代理机构 ：
宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨畅
优先权 ：
CN202111601669.2
主分类号 ：
G01S19/06
IPC分类号 ：
G01S19/06 H01L21/66 H01L21/68
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01S
无线电定向；无线电导航；采用无线电波测距或测速；采用无线电波的反射或再辐射的定位或存在检测；采用其他波的类似装置
G01S19/00
卫星无线电信标定位系统；利用这种系统传输的信号确定位置、速度或姿态
G01S19/01
传输时间戳信息的卫星无线电信标定位系统，例如，GPS、GLONASS或GALILEO
G01S19/03
协作单元；在不同的协作单元之间或在协作单元与接收器之间进行交互或通信
G01S19/05
提供辅助数据
G01S19/06
利用接收机位置的初始估计作为辅助数据或产生辅助数据
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01S 19/06
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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