一种硅片清洗辅助架

授权

摘要

一种硅片清洗辅助架，包括：前置板、后置板、支撑栏杆、支撑底座，所述前置板和后置板平行设置，所述支撑栏杆设置在前置板和后置板之间，且所述支撑栏杆有两个对称设置在前置板和后置板的上端；所述支撑底座设置在前置板和后置板的下端部，且所述支撑底座的两端部分别约前置板和后置板的底部居中处连接。可使硅片排列均匀、放置稳定；进一步保障自动化硅片清洗的可行性；底座的夹板可对硅片进行夹持，进一步提高稳定性，且清洗完成后可直接将支撑底座可硅片同时取出，方便后续操作。

基本信息

专利标题：

一种硅片清洗辅助架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021870250.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-01

授权号：

CN213134254U

授权日：

2021-05-07

发明人：

商炜

申请人：

镇江晶鼎光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼

代理机构：

苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

李玉婷

优先权：

CN202021870250.8

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B13/00