本实用新型属于硅片检测领域，具体为一种硅片检测自动对焦装置，包括装置底板，所述装置底板的顶部固定安装有外框体和侧框体，所述外框体内侧的底面固定安装有光源，所述外框体的内侧设置有固定透镜片和调节透镜片。该硅片检测自动对焦装置，通过侧框体内侧螺纹柱的设置，便于通过旋转握环对移动板的高度进行调节，进而便于对调节透镜片进行第一步调节，配合上调节透镜片外侧握把的设置，能够利用握把带动连杆在凹槽的内侧进行旋转，进而达到对调节透镜片进行第二步调节的效果，双重调节的设置便于将光源射出的光线穿过固定透镜片对焦到硅片上任意一点，达到对硅片进行高效对焦的效果，解决了现有装置对于硅片对焦效果较差的问题。